предварительное легирование из газообразного источника

parengiamasis dujinis legiravimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. gaseous-source predeposition vok. Vorbelegungsdiffusion mit gasförmiger Dotantenquelle, f; Vorbelegungsgasphasendotierung, f rus. предварительная загонка примеси из газообразного источника, f; предварительное легирование из газообразного источника, n pranc. prédéposition de la source gazeuse, f